QUY TRÌNH QUANG KHẮC
 

Xin chào các sư huynh, sư tỷ, và cộng đồng dân cư chemvn.net. Mình là một thành viên mới, và để chào sân, xin góp vui một topic mới: PHẢN ỨNG ĐÓNG RẮN BẰNG QUANG HOC.



Đóng rắn bằng nguồn bức xạ tia UV, ánh sáng, tia laser... là những kỷ thuật phản ứng mới, bắt đầu phát triển trong thập niên 90. Quy trình kỹ thuật này được nhanh chóng áp dụng trong sản xuất công nghiêp.

Kỹ thuật này dựa trên sự phản ứng hóa học được kích thích bằng các tác nhân quang học (UV, IR, chùm tia electron, tia X,chùm tia plasma...). Quy trình đóng rắn này xảy ra rất nhanh chóng,ở nhiệt độ phòng, đòi hỏi năng lượng thấp, không gây ô nhiễm, chi phí thâp...

Dưới tác nhân quang học, các monomer, prepolymer, oligomer sẽ thực hiện những liên kết ngang giữa các mạch phân tử lại với nhau, hình thành một polymer có cấu trúc mạng lưới. Theo tài liệu mà mình có được, thì tác giả gọi những polymer này là những polymer cảm quang. Nhưng theo quan điểm của mình: đây không phải là polymer cảm quang, mà chỉ là phản ứng đóng rắn bằng tác nhân quang hoc. Vì khi thực hiện phản ứng này, chất khơi mào nhạy quang sẽ hình thành ra góc tự do, hay caiton, anion. Sau đó chúng sẽ phản ứng ứng các loại monomer, oligomer, prepolymer có chứa nối đôi để hình thành nên những góc tự do lớn hơn. Cuối cùng chúng sẽ liên kết lại với nhau để hình thành một polymer có cấu trúc mạng lưới dày đăc. Tóm lại, cơ chế phản ứng giống như cơ chế phản ứng trùng hợp các polymer đã từng học, chỉ khác là khơi mào bằng tác nhân quang học(CÒN QUAN ĐIỂM CỦA CÁC BẠN?)

Ứng dụng phản ứng đóng rắn này trong ngành công nghiệp in ấn, mực in, quang khắc, lưu trữ thông tin bằng quang hoc...Kỷ thuật đóng rắn này được ứng dụng nhiều trong ngành công nghiệp chế tạo bản mạch điện tử, công nghệ quang khắc ( để chế tạo những vi hệ thống có kích thước micro MEMs và nano NEMs: transitor, diod,...). Cụ thể hơn là chế tạo lớp màng PHOTORESIT.

Mình sẽ post tiếp lý thuyết cơ bản về photoresist nếu các bạn thích thú về đề tài này

Khoan khoan hãy post tiếp bạn ơi, mình đọc bài thấy có một vài thắc mắc :
+thứ nhất, polymer cảm quang là gì, bạn có thể định nghĩa được ko !?
+theo như bạn nói, quan điểm của bạn ko cho đó là những polymer cảm quan, nhưng đoạn sau bạn nói các polymer initial này nhạy quan, nên tạo thành gốc tự do, và sau đó phát triển mạch... , vậy hai khái niệm polymer cảm quan và polymer initial nhạy quan khác nhau chỗ mô !?
Bạn giải đáp hộ mình nhé !!! :tuongquan :nhacto (

Polymer cảm quan là polymer được trùng hợp từ tác nhân khơi mào là chất nhạy quang.

Các giai đoạn trùng hợp :
[B]Khơi mào [/B] : chất khơi mào là chất nhạy quang. Dưới tác dụng của quang ( UV,...)chất khơi mào sẽ hình thành gốc tự do.
[B]Truyền mạch [/B] và phát triển mạch: gốc tự do được tạo thành này sẽ phản ứng với monomer để tạo thành gốc tự do lớn hơn.
[B]Tắt mạch [/B] : các gốc tự do sẽ kết hợp lại vơi nhau.

Quá trình trùng hợp polymer này có 2 cơ chế khơi mào chính:
Chất khơi mào nhạy quang tạo thành gốc tự do.
Chất khơi mào nhạy quang tạo thành gốc cation.

QUY TRÌNH QUANG KHẮC
 

QUY TRÌNH QUANG KHẮC GỒM NHỮNG BƯỚC CƠ BẢN SAU:

[IMG]http://img91.imageshack.us/img91/4874/h2yk7.jpg[/IMG]

Quy trình này dựa trên vật liệu cảm quang photoresist.
Photoresist gồm hai loại:

[IMG]http://img152.imageshack.us/img152/638/h1go2.jpg[/IMG]

[B]Photoresist dương [/B] : phần resist được chiếu xạ sẽ tan trong dung môi rửa ảnh.
[B]Photoresist âm[/B]: phần resist được chiếu xạ sẽ đóng rắn và không tan trong dung môi rửa ảnh
Thành phần chính của các loại photoresist:
[B]Polymer hay olygomer,prepolymer
Chất khơi mào nhạy quang.
Chất làm loãng (monomer).[/B]
Khi nhận được sự chiếu xạ chất khơi mào sẽ biến đổi thành gốc tự do hay cation, sau đó phản ứng với polymer, monomer,olygomer để tạo thành:
Polymer hay đóng rắn polymer (photoresist âm)
Polymer được biến tính - có thể tan trong một dung môi phân cực hay không phân cực (photoresist dương và photoresist âm)

minh rat thich bai cua ban
minh co the gap ban truc tiêp trao doi doi khong
hay nhanh tin cho minh 08-2055029