Code:
Những ưu điểm của phương pháp cấy ion
-Điều khiển chính xác liều lượng và phân bố theo chiều sâu của tạp chất
-Có một phổ rộng để lựa chọn các vật liệu làm mặt nạ như ô xýt, chất cảm quang, poly-Si, Si3H4, kim loại, v.v..
-Không bị ảnh hưởng nhiều từ các công đoạn làm sạch bề mặt phiến.
-Có độ đồng đều rất lý tưởng liều chiếu xạ theo chiều ngang
-Có thể cấy ion qua lớp oxit hay các mặt nạ mỏng khác
-Quá trình cấy ion (và ủ mẫu sau đó) thực hiện ở nhiệt độ thấp hơn, thời gian ngắn hơn so với công đoạn khuếch tán.
Nhược điểm
-Gây sai hỏng lớn tại bề mặt mẫu do sự bắn phá của chùm ion
-Thiết bị đắt tiền, cồng kềnh, đòi hỏi các phục vụ phụ trợ phức tạp Tác giả: Lê Tuấn
Nhà xuất bản: Đại học Bách Khoa Hà Nội
Loại: pdf (Tiếng Việt) slice
Số trang: 26
DOWNLOAD HERE
Cấy Ion
Threaded Mode
